硅片XRD有两个包是怎么回事我做了个单晶硅片的XRD,69度处有个400的高峰,22度处有个3度宽的矮包,33度也有个4度宽的矮包,而且后面这个包不对称,左边要高点,(是不是32度那边有个69的第二衍

硅片XRD有两个包是怎么回事我做了个单晶硅片的XRD,69度处有个400的高峰,22度处有个3度宽的矮包,33度也有个4度宽的矮包,而且后面这个包不对称,左边要高点,(是不是32度那边有个69的第二衍

问题描述:

硅片XRD有两个包是怎么回事
我做了个单晶硅片的XRD,69度处有个400的高峰,22度处有个3度宽的矮包,33度也有个4度宽的矮包,而且后面这个包不对称,左边要高点,(是不是32度那边有个69的第二衍射峰夹在里面了),请问下两个包是怎么回事啊,我也用酒精丙酮和氟化氢清洁过,是否是二氧化硅的非晶态

最佳答案:

硅片是否是商业化的片子,你是否经过什么处理,xrd设备简单描述一下.
如果是商业化衬底又没经过处理,那么用此设备的标准样品测下,我觉得那些包是和仪器相关的东西.

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